Sensores SemiQCM SR para monitoreo de precursores
Contacten con nosotros y les preparamos un presupuesto personalizado para Usted. Pueden hacerlo vía e-mail o enviando el formulario de contacto.
Los datos de QCM monitoreados a 10 Hz
FabGuard correlacionan los datos de QCM con el estado de la herramienta y el paso del proceso Medición
precisa de las velocidades de deposición o grabado
Sensibilidad y precisión para la medición del espesor de submonocapa
