Transpector SPS
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Minimice el coste total de propiedad de la protección de obleas y paneles con una sola entrada de muestreo a presión; ideal para procesos de alta presión como la difusión, la epitaxia y el RTP
Proporciona el nivel más bajo de detección de fugas de aire y contaminación para procesos de alta presión constantes Integración de fábrica e interdicción confiable mediante
una potente adquisición y sincronización de datos
Mejora las capacidades de fabricación únicas con una optimización de recetas personalizada
Protege las necesidades críticas del proceso con una respuesta inmediata in situ de los expertos
