Transceptor CPM 3
Contacten con nosotros y les preparamos un presupuesto personalizado para Usted. Pueden hacerlo vía e-mail o enviando el formulario de contacto.
Analizador de gases residuales para ALD, grabado, CVD y degas de 300 mm: permite el monitoreo y el análisis de procesos en tiempo real
Preparado para ALD con una velocidad de medición de 1,8 ms por punto (555 puntos por segundo) Durabilidad y confiabilidad
comprobadas en el campo en las aplicaciones de CVD y grabado más exigentes Integración de aplicaciones: el Transpector CPM se convierte en una poderosa herramienta de monitoreo y diagnóstico de procesos cuando se integra con el software FabGuard y es compatible con los expertos en
aplicaciones de primer nivel de INFICON El tamaño compacto permite una fácil integración en producción
equipo semiconductor
Hexblock™ con hasta tres entradas de presión y un área de superficie reducida para minimizar las reacciones de la superficie y los tiempos de respuesta El medidor de diafragma de
capacitancia (CDG) —CDG permite al usuario monitorear la presión del proceso y proteger automáticamente el sistema contra las desviaciones de presión. Calibración
automática: garantiza la estabilidad y precisión de los datos a largo plazo para hacer coincidir el sensor con el sensor y la herramienta con la cámara de la herramienta
