Diseño de plataforma específico para una aplicación que prolongue la vida útil de su proceso de ALD o CVD para la mejor protección de obleas y paneles y la optimización del proceso Preparado para
ALD con velocidades de medición de más de 550 puntos de datos por segundo
Se redujo el espacio de fábrica en un 30% y una instalación más sencilla gracias a un sistema de bombeo de alto rendimiento Entrada controlada con
temperatura controlada con revestimiento patentado por INFICON para una entrada de presión discreta que puede soportar productos químicos corrosivos agresivos La calibración
automática garantiza la confiabilidad y precisión de los datos a largo plazo de un sensor a otro adaptación de la herramienta a la cámara de herramientas
El transpector APX se convierte en una poderosa herramienta de monitoreo y diagnóstico de procesos cuando se integra con el software FabGuard® y cuenta con el respaldo de los expertos en aplicaciones de clase mundial de INFICON
| Fabricante | Inficon |
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| País | |
| Número de pieza | 969-800-G2S |