Transceptor XPR 3+
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Protección de paneles y obleas en tiempo real gracias a la detección de fugas de aire y contaminación de alta sensibilidad debido al alto vacío a las presiones del proceso de PVD
Maximice la eficiencia de las partículas y el tiempo de actividad de la herramienta, con una calificación rápida y confiable de la cámara
Minimice el costo total de propiedad con el diseño de fuente de iones dual de doble vida útil y resistente a la contaminación; monitorea hasta 20 mTorr sin necesidad de bombas. La variante EM de baja presión ofrece una alternativa rentable Integración
perfecta de la fábrica e interdicción confiable mediante una potente adquisición y sincronización de datos
Mejore las capacidades de fabricación únicas con una optimización de recetas personalizada
Protege las necesidades críticas del proceso con la respuesta inmediata in situ de los expertos
